鏡面のように精密な加工を行っております。
サブμまで対応します。
位置決め精度 ±0.0003mm/フルストローク
最小設定単位 0.0001mm
C軸設定単位 0.001度
加工事例
超平面鏡面加工 平面度0.00056mm
最小設定単位 0.0001mm
主軸&X軸、Y軸 油制圧軸受け、油制圧ガイド
超精密スピンドル 極低振動モーター使用
油制圧スピンドルは、オイルコンディショナーで温度管理された油の膜により、ラジアル過重、スラスト過重がしっかりサポートされており、サブミクロンの回転精度で回転します。
■高精度刷り合わせテーブル左右真直度 2μm/500
■極低振動モータースピンドル回りの回転振動が極小(0.1μm以下)に抑えられています。